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何謂 mems 製程
2019年1月3日—MEMS(MicroElectroMechanicalSystem),中文為微電子機械系統;MEMS是利用半導體製程技術,整合電子及機械功能製作而成的微型裝置,在裝置上既擁有 ...,隨著MEMS技術在消費電子應用的快速崛起,及半導體製造接近極限,透過TSV技術整合MEMS與CMOS製程,...
MEMS的最新技術開發動向
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2007年9月26日—微機電(MEMS)係指持有微小三次元機電結構體,可以處理各種輸出入信號的系統,可以結合半導體元件製程,如微影蝕刻技術等,製作出微小的立體構造。
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